株式会社DINOVAC – 真空装置・DLCコーティング装置・真空チャンバー

真空装置の設計・製造

CVD、スパッタ、蒸着などの成膜装置から大気圧プラズマ、加熱/乾燥炉など真空/大気圧問わず実験装置から生産装置まで、お客様の要望に合わせて装置を設計、製造致します。

CVD法の一種であるプラズマCVD法によりDLC膜を生成します。a-SiCやSiOxといったSi系膜の作成も可能です。