真空装置の設計・製造
当社は真空業界で20年以上働いてきた技術者達が立ち上げた会社です。
当社では設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応しております。
真空装置の設計、製造
当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて装置を設計、製造いたします。 「こういう形の物に膜をつけられる装置」、「こういう事が出来る装置」など、ご要望をお聞かせいただき、最適な装置をご提案させていただきます。 一から設計しますので、お手持ちのポンプをご支給頂いたり、このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対応いたします。
立体物対応実験用プラズマCVD装置
用途・特徴
○立体物に成膜可能な実験用プラズマCVD装置
○対応可能膜種：DLC、アモルファスSiC等
○基材加熱機構付き（最高設定温度：500℃）
○PC操作（シーケンサー制御）で、全自動、データロギング
基本仕様
| 真空チャンバー 材質 | ステンレス製 |
| 到達真空度 | 1Pa以下 |
| 真空ポンプ | ロータリーポンプ＋メカニカルブースターポンプ |
| 排気圧コントロール | 手動（オプションで自動可） |
| 成膜対象物 | 最大φ100mm×500mm |
| 高周波出力 | 最大1kW |
| 整合方式 | 自動整合方式 |
| ランプ加熱 | 最高設定温度500℃ |
| ガス導入系 | Ar、O2、CVD用ガス |
| 制御／操作 | PLC制御／PC操作 |
| 電気容量 | 三相AC200V 50A |
| 供給ガス圧力 | 0.1MPa～0.2MPa |
| 接地 | A種アース |
実験用高真空装置
基本仕様
| 真空チャンバー 材質 | ステンレス製 |
| 真空チャンバー サイズ | 幅400mm×奥行290mm×高さ340mm |
| 真空チャンバー 容量 | 約26.5L |
| 到達真空度 | 1×10-4Pa以下 |
| 真空ポンプ | ロータリーポンプ＋ターボ分子ポンプ |
| 制御／操作 | 手動（オプションで自動可） |
実験用真空チャンバー
基本仕様
| 真空チャンバー 材質 | ステンレス製 |
| 真空チャンバー サイズ | φ10B×高さ1200mm |
| 真空チャンバー 容量 | 約58L |
| 到達真空度 | 10Pa以下 |
| 真空ポンプ | 空冷式ドライ真空ポンプ |
| 排気ポート | 1ヶ所 |
| 真空測定用ポート | 1ヶ所 |
| ビューポート（覗き窓） | 3ヶ所 |
| ベントポート | 1ヶ所 |
| 予備ポート | 1ヶ所 |
| 真空計 | 大気圧ピラニ真空計 |
真空部品
真空装置だけではなく、真空チャンバー、フランジ、配管など部品の設計、製造も対応しております。
真空装置、部品の製作事例
- PE-CVD装置
- 熱CVD装置
- スパッタ装置チャンバ設計・製作（チャンバスケッチ・設計・製作）
- 大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作
- 画像評価装置制御BOX製作
- 真空試験装置制御BOX製作
- 制御盤内ユニット製作
- 真空機器代替ケーブル製作（真空計用、DC電源用など）
- 配管、継手設計・製作
- 石英部品設計・製作
真空装置の改造
当社には機械設計・組立、電気設計・制御を行える技術者が在籍しておりますので、ハードのみ、ソフトのみの改造ではなく、ハード＋ソフトの改造に対応する事が可能です。ハード+ソフトの改造であれば、今まで使用してきた状態のままポンプ、真空計などの追加、交換が可能となります。
例）装置に真空ポンプを追加した場合（操作はタッチパネルと仮定）
ハードのみ｜真空ポンプ設置、配管・配線接続
追加したポンプのみ手動操作。
ハード + ソフト｜真空ポンプ設置、配管・配線接続
プログラムを変更してタッチパネル上へ真空ポンプを追加、他の機器と同様にタッチパネル上から運転・停止操作が可能となります。
加えて自動運転のレシピへの組み込み、インターロックの追加も可能となります。
チャンバ増設などの大掛かりな改造から、真空バルブの追加などちょっとした改造まで幅広く対応しております。
ハードのみ、ソフトのみの改造も対応しております。
当社製以外の装置に関する改造にも対応しております。
装置周辺設備設置工事
真空装置だけではなく周辺設備の設置工事や機器の取付工事なども対応しております。
装置周辺設備設置工事事例
- 蒸着装置用冷却チラー設置工事
- PE-CVD装置用簡易除害装置設置工事
- CVD装置ガス検知器取付工事
- クリーンブース設置工事
- ガス供給設備設置工事
- 冷却チラー設置工事
真空装置の保守・修理・移設
当社製以外の装置に関する移設・メンテナンスにも対応しております。
移設事例
- CVD装置移設工事 （出荷前動作確認、解体・梱包、輸送、現地立上げ、リークチェック、動作確認）
- アッシング装置、洗浄装置、制御盤移設工事（解体・梱包、輸送）
- 大学研究室引越しに伴う装置移設作業 （出荷前動作確認、装置清掃、解体・梱包、輸送、現地立上げ、各所Oリング交換、リークチェック、動作確認）
メンテナンス事例
- PE-CVD装置MFC交換
- PE-CVD装置ゲートバルブOリング交換
- 高真空装置リーク補修作業
- 表面処理装置覗き窓、Oリング交換
取扱部品メーカー例
真空計：MKS、PFEIFFER、ULVAC、Leyboldなど
バルブ：VAT、V-TEX、フジキン、KITZなど
ポンプ：島津製作所、大阪真空、樫山工業、ULVACなど
MFC：リンテック、堀場エステック、コフロックなど
クリーンブース：日本エアーテック
チラー：オリオン、SMCなど
除害装置：宇部興産など
上記以外のメーカやスパッタリングターゲット、プラズマ電源などの各種真空部品も取り扱っておりますので、お気軽にお問合せください。