DLCコーティング 装置
DLCとは
DLCとはDiamond-Like Carbonの略で、ダイヤモンド構造とグラファイト構造、さらに水素を含んだアモルファス状態のカーボンの総称です。
DLC膜は、高硬度、表面平滑性、高耐摩耗性、低摩擦係数、高絶縁性、高化学安定性、高ガスバリア性、高生体親和性など、様々な特徴を有しています。
切削工具（例：ドリル、エンドミル、カミソリ）、金型（例：ガラス成型、射出成形）、自動車部品（例：ピストンリング、カムシャフト）、光学部品（例：レンズ）、電気・電子機器（例：ハードディスク）、飲料容器・食品包装（例：PET ボトル）など、多岐にわたる市場で実用展開されています。
DINOVACでのDLCコーティング 事例
| 成膜対象物 | 目的 |
|---|---|
| エンジンピストン／ピストンリング | 耐摩耗性／摺動性の向上 |
| 医療用部品 | 耐薬品性、ナトリウム塩などへの耐性向上 |
| ウレタン樹脂部品 | 摺動性の向上 |
| ガラスレンズ | 金型との離型性向上 |
| 樹脂フィルム | 酸素バリア性の向上 |
DLCのコーティング方法
DLC のコーティング方法には、物理蒸着法（Physical Vapor Deposition：PVD）と化学蒸着法（Chemical Vapor Deposition：CVD）の大きく二つに分けられます。
PVD法にはスパッタリング法やイオンプレーティング法などがあり、原料であるグラファイトを真空中でイオンビーム、アーク放電、或いはグロー放電等に晒し、飛び散った炭素原子が目的物の試料面にコーティングされます。この手法では、金属添加のDLCや炭素のみのDLC（水素フリーDLC）をコーティングすることも可能です。
DINOVACのDLCコーティング 方法
弊社が得意とするプラズマCVD法はCVD法の一種で、原料としてメタンやアセチレン、ベンゼンなどの炭化水素ガスを使い、チャンバー内で原料ガスをプラズマ化して、気相合成された炭化水素が試料表面に堆積します。
原料ガスに水素が含まれるため、コーティングされたDLCにも必ず水素が含まれるが、低温コーティング（室温～200℃）が可能、三次元（複雑）形状への均一コーティングが容易、コーティング速度が速い（処理時間が比較的短い）という利点があります。
また、原料を変えることによって、DLC膜だけではなく、a-SiCやSiOxといったSi系膜の作成も可能です。
DLCコーティング 方法の比較
| PE-CVD | 熱CVD | PVD （スパッタ） |
PVD （蒸着） |
|
|---|---|---|---|---|
| DLCコーティング 速度 | ◎ | △ | △ | ○ |
| 三次元形状への膜の均一性 | ◎ | △ | △ | △ |
| DLCコーティング 温度 | ○ | △ | ○ | ○ |
| 合金膜 | △ | △ | ◎ | △ |
| 大面積へのDLCコーティング | ○ | △ | △ | △ |
| DLCコーティング 材料の変更 | ◎ | ◎ | △ | ○ |