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セラミック部品

アルミナ – Aluminum Oxide

特長

◆アルミナは白色または乳白色のセラミックス
◆良好な電気絶縁特性を生かし、電気部品に応用
◆ファインセラミックスの中では最も安価
◆耐プラズマ性にも優れていることから、CVD装置やエッチング装置の部品にも使用

用途

◆半導体製造装置部品(チャンバー部品、絶縁フランジ、エッチング装置部品、ウェハーチャック)
◆粉砕機部品(分級機、気流式粉砕機、ビーズミル)
◆一般産業用部品(レーザー加工機用ノズル、シャフト、軸受け)
◆高精度用、精密用、耐熱用治工具(位置決め治具、組立治具)
◆耐摩耗部品(伸線機ガイドローラー、糸道、レール、ガイド)
◆電気絶縁部品(絶縁碍子、スペーサー、ブッシュ)

製品 AL-997 AL-993 AL-990 AL-950
純度(%) 99.7 99.3 99 95
外観 象牙色 象牙色 白色 白色
最高使用温度(℃) 1750 1700 1650 1500
密度(g/cm3) 3.85 3.88 3.83 3.78
曲げ強度(MPa) 350 350 350 320
圧縮強度(MPa) 2300 2350 2250 1900
ビッカース硬度(GPa) 9 9 9 9
体積抵抗率(Ω・cm) 10 10 10 10
熱膨張率(10-6/℃) 7 8 7 7
熱伝導率@20℃(W/m・K) 25 25 25 25
誘電率@20℃,1MHz(ε) 9.5 9.5 9.5 9.5
絶縁破壊電圧(KV/mm) 20 20 18 17
吸水率(%) <0.02 <0.01 <0.02 <0.04

炭化ケイ素 – Silicon Carbide

特徴

◆黒色のセラミックスで、他のファインセラミックスと比べ高温域(1000℃以上)での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性の高い
◆共有結合性が強いため各種ファインセラミックスの中では最も硬く、耐食性に優れ、液中での摺動特性が良好

用途

◆摺動部品(メカニカルシール、ケミカルポンプ軸受け、シャフト)
◆粉砕機部品(分級機、気流式粉砕機、ビーズミル)
◆半導体製造装置部品(XYステージ、MOCVDトレー、フォーカスリング、ウェハーチャック)
◆成形機部品(ガラスレンズ成形機部品)
◆耐熱部品(バーナーノズル、高温試験機部品、金属溶融用坩堝)
◆耐摩耗部品(ブラストノズル、ショットブラスト用ブレード、埋設管防護板、釣具糸道)

製品 ReSiC SiSiC SiC-A7 SiC-JK SiC+Si3N4 NSiC
純度(%) 99 92 88 88 75 68
最高使用温度(℃) 1650 1380 1450 1600 1550 1550
見掛密度(g/cm3) 2.7 3.01 2.65 2.85 2.68 2.8
曲げ強度(MPa) 100 260 43 46 42 170
圧縮強度(MPa) 300 900 80 120 150 400
気孔率(%) 15 0.1 15 10 15 11
熱伝導率@1200℃(W/m・K) 35 45 14 15 17 20
熱膨張率@1200℃(10-6/℃) 4.6 4.5 4.5 4.8 4.5 4.7
SiSiC(反応焼結炭化ケイ素)製品
ReSiC(再結晶炭化ケイ素)製品
NSiC(窒化炭化ケイ素)製品
SiC(酸化物系炭化ケイ素)製品

ムライト – Mullite / コージライト – Cordierite

特長

◆熱膨張係数が極めて小さい
◆耐熱衝撃性が高い
◆低コスト

用途

◆耐熱部品(エアーヒーター、ヒーター保持品)

製品 ムライト
成分(%) MgO SiO2 Al2O3
7 52 36
最高使用温度(℃) 1300
かさ密度(g/cm3) 1.85
気孔率(vol%) 28
強度(MPa) 10
熱膨張率(×10-6/℃) 4.2~5.6
比熱@20℃(kJ/(kg・K)) 1.0