セラミックス部品
アルミナ – Aluminum Oxide
特長
◆アルミナは白色または乳白色のセラミックス
◆良好な電気絶縁特性を生かし、電気部品に応用
◆ファインセラミックスの中では最も安価
◆耐プラズマ性にも優れていることから、CVD装置やエッチング装置の部品にも使用
用途
◆半導体製造装置部品（チャンバー部品、絶縁フランジ、エッチング装置部品、ウェハーチャック）
◆粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル）
◆一般産業用部品（レーザー加工機用ノズル、シャフト、軸受け）
◆高精度用、精密用、耐熱用治工具（位置決め治具、組立治具）
◆耐摩耗部品（伸線機ガイドローラー、糸道、レール、ガイド）
◆電気絶縁部品（絶縁碍子、スペーサー、ブッシュ）
| 製品 | AL-997 | AL-993 | AL-990 | AL-950 |
|---|---|---|---|---|
| 純度(%) | 99.7 | 99.3 | 99 | 95 |
| 外観 | 象牙色 | 象牙色 | 白色 | 白色 |
| 最高使用温度(℃) | 1750 | 1700 | 1650 | 1500 |
| 密度(g/cm3) | 3.85 | 3.88 | 3.83 | 3.78 |
| 曲げ強度(MPa) | 350 | 350 | 350 | 320 |
| 圧縮強度(MPa) | 2300 | 2350 | 2250 | 1900 |
| ビッカース硬度(GPa) | 9 | 9 | 9 | 9 |
| 体積抵抗率(Ω・cm) | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 熱膨張率(10-6/℃) | 7 | 8 | 7 | 7 |
| 熱伝導率＠20℃(W/m・K) | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 誘電率＠20℃,1MHz(ε) | 9.5 | 9.5 | 9.5 | 9.5 |
| 絶縁破壊電圧(KV/mm) | 20 | 20 | 18 | 17 |
| 吸水率(%) | ＜0.02 | ＜0.01 | ＜0.02 | ＜0.04 |
炭化ケイ素 – Silicon Carbide
特徴
◆黒色のセラミックスで、他のファインセラミックスと比べ高温域（1000℃以上）での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性の高い
◆共有結合性が強いため各種ファインセラミックスの中では最も硬く、耐食性に優れ、液中での摺動特性が良好
用途
◆摺動部品（メカニカルシール、ケミカルポンプ軸受け、シャフト）
◆粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル）
◆半導体製造装置部品（XYステージ、MOCVDトレー、フォーカスリング、ウェハーチャック）
◆成形機部品（ガラスレンズ成形機部品）
◆耐熱部品（バーナーノズル、高温試験機部品、金属溶融用坩堝）
◆耐摩耗部品（ブラストノズル、ショットブラスト用ブレード、埋設管防護板、釣具糸道）
| 製品 | ReSiC | SiSiC | SiC-A7 | SiC-JK | SiC+Si3N4 | NSiC |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 純度(%) | 99 | 92 | 88 | 88 | 75 | 68 |
| 最高使用温度(℃) | 1650 | 1380 | 1450 | 1600 | 1550 | 1550 |
| 見掛密度(g/cm3) | 2.7 | 3.01 | 2.65 | 2.85 | 2.68 | 2.8 |
| 曲げ強度(MPa) | 100 | 260 | 43 | 46 | 42 | 170 |
| 圧縮強度(MPa) | 300 | 900 | 80 | 120 | 150 | 400 |
| 気孔率(%) | 15 | 0.1 | 15 | 10 | 15 | 11 |
| 熱伝導率＠1200℃(W/m・K) | 35 | 45 | 14 | 15 | 17 | 20 |
| 熱膨張率＠1200℃(10-6/℃) | 4.6 | 4.5 | 4.5 | 4.8 | 4.5 | 4.7 |
SiSiC（反応焼結炭化ケイ素）製品
ReSiC（再結晶炭化ケイ素）製品
NSiC（窒化炭化ケイ素）製品
SiC（酸化物系炭化ケイ素）製品
ムライト – Mullite ／ コージライト – Cordierite
特長
◆熱膨張係数が極めて小さい
◆耐熱衝撃性が高い
◆低コスト
用途
◆耐熱部品（エアーヒーター、ヒーター保持品）
| 製品 | ムライト | ||
|---|---|---|---|
| 成分(%) | MgO | SiO2 | Al2O3 |
| 7 | 52 | 36 | |
| 最高使用温度(℃) | 1300 | ||
| かさ密度(g/cm3) | 1.85 | ||
| 気孔率(vol%) | 28 | ||
| 強度(MPa) | 10 | ||
| 熱膨張率(×10-6/℃) | 4.2～5.6 | ||
| 比熱＠20℃(kJ/(kg・K)) | 1.0 | ||
