納入・製作実績

真空装置、部品の製作実績

• 実験用高真空装置

  

• 分析装置用装置・加熱ヒータ制御BOX製作

  製作内容	装置・加熱ヒータに関わる制御盤、PLCプログラムの製作
  PLCプログラム	・手動運転 ・自動運転（RECIPE） ・ヒータ制御モード選択機能 ・各種インターロック
  制御/操作	PLC/PC

  

• PE-CVD装置

  装置設計・製作・組立、制御盤製作・配線

• 熱CVD装置

  チャンバ、架台ユニット設計・製作・組立、制御盤製作、配線

• スパッタチャンバ設計・製作

  チャンバスケッチ・設計・製作

• 大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作

• 画像評価装置制御BOX製作

• 真空試験装置制御BOX製作

• 制御盤内ユニット製作

• 真空機器代替ケーブル製作

  真空計用、DC電源用など

• 配管、継手設計・製作

• 石英部品設計・製作

真空装置の改造実績

• 手動操作装置｜操作・制御系改造

  改造内容	・バルブ開閉などの手動操作部分をタッチパネルで操作出来る様に改造 ・PLC追加で可能となった各種インターロックの導入
  改造箇所	・手動バルブを圧空式バルブへ変更、真空計の追加 ・排気、圧力、ガスに関わるインターロックの導入 ・自動排気モードの導入（DP＋TMP立上げからチャンバ排気まで）
  制御/操作	PLC/タッチパネル

  

• CVD装置ポンプ増設工事

  ポンプ設置用架台設計・製作・据付、PLCプログラム変更（インターロック追加含む）、リークチェック、動作確認

• CVD装置ガス1系統増設工事

  MFC・ガスバルブ・配管増設、PLCプログラム変更（インターロック追加含む）、リークチェック、動作確認

• スパッタ装置改造工事

  スパッタカソード・冷却系増設、MFC・ガスバルブ変更、DC電源用切替器追加、各種配線追加、
  PLCプログラム変更（インターロック追加含む）、リークチェック、動作確認

• 表面処理装置プログラム変更

  PLCプログラム変更、配線追加、動作確認

装置周辺設備設置工事実績

• クリーンブース設置工事

  設置場所床工事、外部排気ダクト・排気ファン工事含む

  

• ガス供給設備設置工事

  シリンダーキャビネット、ガスパネル、ガス配管、ガス検知器

  

• 冷却チラー設置工事

  チラー設置、配管施工、制御BOX、緊急停止時保護ユニット

  

• 蒸着装置用冷却チラー設置工事

  チラー設置、装置－チラー間の配管施工、スイッチBOX、配線、排気ファン設置

• PE-CVD装置用簡易除害装置設置工事

  除害装置据付、除害－装置間の配管施工、PLCプログラム変更（インターロック追加含む）、リークチェック、動作確認

• CVD装置ガス検知器追加工事