レアメタル部品（スパッタリングターゲット）
タングステン – Tungsten
特長
◆金属のなかで最も融点が高い
◆熱膨張率が低く、超高温の環境下でも形状安定性がきわめて高い
◆金属としては比較的大きな電気抵抗を持ち、フィラメントやヒーター、坩堝などで利用
◆他元素を微量に添加させることにより特性の調整が可能
| 製品名 | W | WAL |
|---|---|---|
| 純度(%) | ≧99.95 | ≧99.5 |
| 最高使用温度(℃) | 3000 | 3000 |
| 再結晶温度(℃) | 1500 | 1600 |
| 引張強度(MPa) | 850 | 850 |
| 線膨張係数(10-6/℃) | 4.5 | 4.5 |
| 体積抵抗率(Ω・cm) | 5 | 5 |
| 熱伝導率(W/m・K) | 180 | 170 |
| ビッカース硬度(GPa) | 5.2 | 5.2 |
スパッタリングターゲット（W & W-Ti）
| W Target | W-Ti Target | |
|---|---|---|
| 工程 – Process | 圧延 | HIP：Hot Isostatic Pressing (熱間等方圧加圧) |
| 純度 – Purity | ＞99.95%(3N5) | 99.9%～99.95%(3N～3N5) |
| 結晶粒径 – Grain size | ＜100μm | ＜100μm |
| 成分 – Composition | Pure W | Ti：10～20wt% |
モリブデン – Molybdenum
特長
◆熱膨張率が低く、高温の環境下でも形状安定性がきわめて高い
◆高融点金属のなかでは加工性に優れる
◆他元素を微量に添加させることにより特性の調整が可能
| 製品名 | Mo | MoLa |
|---|---|---|
| 純度(%) | ≧99.95 | 70～99 |
| 最高使用温度(℃) | 1900 | 2200 |
| 再結晶温度(℃) | 900 | 1200 |
| 引張強度(MPa) | 650 | 790 |
| 線膨張係数(10-6/℃) | 5.2 | 5 |
| 体積抵抗率(Ω・cm) | 5 | 5 |
| 熱伝導率(W/m・K) | 135 | 125 |
| ビッカース硬度(GPa) | 2.6 | 3.5 |
スパッタリングターゲット
◆純度 – Purity：3N7
◆結晶粒径 – Grain size：＜100μm
◆密度 – Density：＞10.15g/cm3(＞99%)
◆熱伝導率 – Thermal conductivity：102～104W/(m・K)
◆熱膨張係数 – Coefficient of thermal expansion：5.3ppm／K
| 平面ターゲット Flat target |
ロータリーターゲット Rotary target |
||
|---|---|---|---|
| 厚さ – Thickness (mm) | 10～18 | >φ165 | |
| 幅 – Width (mm) | 200～300 | ≦2100 | |
| 長さ – Length (mm) | ≦4000 | ≦3000 | ≦2900 |
平面ターゲット
Square target
ロングターゲット・ロータリーターゲット
Long target and Rotary target
モリブデン・ニオブ合金 – Molybdenum-Niobium alloy
スパッタリングターゲット
◆Nb成分 – Nb Composition：3～15wt%
◆純度 – Purity：≧99.95%
◆サイズ – Size：≦Length 2000×width 500mm
Mo-Nb Target
圧延装置 – Rolling machine